Titan smidning av rund mål

Titanmål är produkten av titan med hög renhet efter bearbetning och är gjord av tunn film genom fysisk ångavsättning. Används som ett barriärskikt för aluminiumtrådar i halvledarchips.

1. Huvudprestationskraven för titanmål

(1) Utseende kvalitet: Innan du lämnar fabriken bör titanmålet rengöras utan damm och ytan ska vara ren. Efter att ha avslutat ytan på titanmålet bör ytråheten uppfylla kundernas krav.

(2) Interna defekter: Det bör inte finnas några inneslutningar, porer, sprickor och andra defekter i titanmålet.

(3) Sammansättning: Titanmålet är uppdelat i rent titanmål och legeringsmål, legeringsmål inklusive titanaluminiumlegeringsmål, titannitridmål, titanlegeringsboridmål, etc. Renheten för målmaterialet är 99,9%-99. 999%.

(4) Kornstorlek: Titanmålskorn är enhetliga och fina, och det genomsnittliga kornet styrs i allmänhet till mindre än 50 um.

(5) Textur: Kristallorienteringen av titanmål<002>föredras och större än eller lika med 35%.

(6) Geometrisk storlek: Storleken på titanmålet varierar beroende på användningskraven, och diametern är i allmänhet 200-460 mm.

Titanmål kan delas upp i enstaka titanmål och svetsade titanmål enligt deras struktur. Det enda titanmålet behöver inte svetsas och billetbehandlingen är integrerad. Svetsat titanmål är att svetsa titanmålet tomt med bakplanet, de vanliga svetsmetoderna inkluderar håravfall och diffusionssvetsning. Svetsning av backplane -material inkluderar koppar- och kopparlegeringsbakplan, aluminium- och aluminiumlegeringstillskott, etc. Efter svetsning görs ultraljudsdetektering för att säkerställa att kopplingen mellan målet och bakplanet har en viss bindningsstyrka för att undvika problem som att falla av och spricka under sputtering. Tabell 9-23 beskriver kraven på svetskvalitet för titanmål.

2. Beredning av titanmål

Det rena titanmålet framställs vanligtvis av den heta pressprocessen för smältgöt. Titanlegeringsmålet framställdes genom pulvermetallurgi.

Den heta pressningsprocessen är baserad på titan med hög renhet som erhålls från smältning. Mikrostrukturen och formen och storleken på billet styrs genom att smida, rulla, glödga och annan plastbearbetningsteknik, och sedan bearbetas billet för att erhålla titanmålet. Efter smidnings-, rullnings- och glödgningsprocessen har titanmålet ett fint och enhetligt korn och överlägsen struktur, som kan uppfylla kraven i titanmålet i sputteringsprocessen. Förlusten i smältgötsbehandlingen är stor, inklusive förlusten i smältgjutningsprocessen, förlusten i smidnings- och rullningsprocessen eftersom oxidskalet måste vridas, och förlusten i skärning av processen är också närvarande, så den slutliga användningsgraden är cirka 80%.

För TIB2, TIAI och andra legeringsmål är det lätt att spricka under smidning, och det är mer lämpligt för pulvermetallurgi, det vill säga titanpulver och tillsatser används som råmaterial, genom pulverblandningen, och sedan bearbetas billet med varm pressning eller varm isostatisk presskraft och sedan titanens mål. Pulvermetallurgi är den föredragna metoden för att framställa titanlegeringsmål eftersom det kan bilda tomt på en gång, har en hög materialanvändningshastighet och kan enkelt lägga till legeringselement. Problemen med pulvermetallurgi är materialets renhet, enhetens enhetlighet och tätheten. Material inre defekter och andra aspekter av kontrollkraven är höga.

Arbetsprincipen för titanmål är relaterad till en serie fysiska och kemiska reaktioner och används ofta i fysisk ångavsättning (PVD), inklusive magnetronsputtering, jonstrålsputning och andra metoder. I dessa metoder är titanmål ett viktigt råmaterial.

 

Populära Taggar: Titan smide rund mål, porslin titan smide rundtillverkare, leverantörer, fabrik, Titanbearbetade växlar, Titanbearbetad klass 18 titan-ändamål titan-syfte titandelar, Titanbearbetad klass 19 titan-ändamål titan-syfte titandelar, Titanbearbetad klass 22 titan-syfte titandelar, Titanbearbetad klass 23 titan-ändamål titan-syfte titandelar, Titanbearbetad klass 25 titan-syfte titandelar